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J-GLOBAL ID：200903099073745588

基板計測装置

Inventor： 楠田 達文
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Agent (1)： 下出 隆史 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998210352
Publication number (International publication number)：2000028326
Application date： Jul. 08, 1998
Publication date： Jan. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】 基板の凹凸部分を含む領域と凹凸部分を含まない平坦な領域とを区別して認識し、これに基づいて測定位置を決定するとともに、その測定位置において所定の測定を行うことができる技術を提供する。【解決手段】 基板計測装置は、基板の凹凸部分に応じて測定位置を決定し、その測定位置で所定の測定を行う。第1の測定部100は、基板上の第1の測定位置において、その測定位置の近傍領域の平坦度に関係する測定を行う。第1の測定位置の近傍領域における平坦度の指標値が所定の範囲内の値となるときには、第1の測定位置が第2の測定に適した第2の測定位置として決定される。第2の測定部200は、決定された第2の測定位置において所定の測定を行う。

Claim (excerpt)：

表面に凹凸を有する基板に対して所定の測定を行う基板計測装置であって、前記基板上の第1の測定位置において、前記第1の測定位置の近傍領域の平坦度に関係する測定値が得られる第1の測定を行う第1の測定部と、前記第1の測定位置における前記測定値に応じて得られる平坦度の指標値が所定の範囲内の値となるときに、前記第1の測定位置を第2の測定に適した第2の測定位置として決定する測定位置決定部と、前記第2の測定位置において前記第2の測定を行う第2の測定部と、を備えることを特徴とする基板計測装置。

IPC (2)：

G01B 11/06 ,  G01N 21/88

FI (2)：

G01B 11/06 Z ,  G01N 21/88 E

F-Term (35)：

2F065AA03 ,  2F065AA30 ,  2F065AA47 ,  2F065BB02 ,  2F065CC19 ,  2F065CC31 ,  2F065FF41 ,  2F065HH04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ05 ,  2F065LL02 ,  2F065LL53 ,  2F065LL67 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR06 ,  2F065TT02 ,  2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AA73 ,  2G051AA90 ,  2G051AB20 ,  2G051BA01 ,  2G051BA20 ,  2G051BB17 ,  2G051CA02 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CC17 ,  2G051DA07 ,  2G051EA14 ,  2G051EA25 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02