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J-GLOBAL ID：200903099078745535

バキュームチャックプレート

Inventor： 佐藤 修三
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 稲本 義雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992311501
Publication number (International publication number)：1994143073
Application date： Oct. 27, 1992
Publication date： May. 24, 1994
Summary：

【要約】【目的】 ワークの段取替時にマスクを必要とせず、ワークを確実にチャックすることができ、安定して高精度の加工を行なえる構造とする。【構成】 プレート1のチャック面6に多孔質セラミックス層3を形成し、セラミックス層3の所定の位置に吸気を遮断するエポキシ系樹脂を含浸させて封印部5を設け、封印部5間の吸着部4と外部の真空源とを連通する吸気孔8をプレート1の台金部2内に形成する。

Claim (excerpt)：

工作機械で被加工物を真空吸着により保持するバキュームチャックプレートにおいて、前記プレートのチャック面に形成された多孔質セラミックス層と、前記プレート内に設けられ、前記多孔質セラミックス層と外部の真空源とを連通する吸気孔と、前記多孔質セラミックス層の所定の位置に設けられ、吸気を遮断する封印部とを備えることを特徴とするバキュームチャックプレート。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭60-127935
  
• 特開昭62-124844