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J-GLOBAL ID：200903099099111552

品質管理方法及びそのシステム

Inventor： 北 村 雅 美 ,  浦 崎 直 彦 ,  阿 部 賢 治
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996273701
Publication number (International publication number)：1998125567
Application date： Oct. 16, 1996
Publication date： May. 15, 1998
Summary：

【要約】【課題】 工程での処理が終了した後にロットを検査又は試験していたため、異常なロットが出された後に当該工程が異常であることが判明し、無駄な製造コストをかけていた。【解決手段】 製造装置1a、1b、...が正常に動作するためのパラメータ条件を与えられて格納するパラメータ条件データベース7、製造装置1a、1b、...から製造中のパラメータを与えられ、パラメータ条件データベース7から与えられたパラメータ条件の示す限界値と比較し、パラメータが限界値を越えたときは対応する製造装置1a、1b、...の稼働を停止させるモニタリング端末9a、9b、...を備え、異常が発生した場合には直ちに製造を停止する。

Claim (excerpt)：

製造装置が正常に動作するためのパラメータ条件を与えられて格納するパラメータ条件格納手段と、前記パラメータ条件格納手段と前記製造装置とに接続されており、前記製造装置から製造中のパラメータを与えられ、前記パラメータ条件格納手段から与えられた前記パラメータ条件の示す限界値と比較し、前記パラメータが前記限界値を越えたときは前記製造装置の稼働を停止させるモニタリング手段と、を備えることを特徴とする品質管理システム。

IPC (3)：

H01L 21/02 ,  G06F 17/60 ,  H01L 21/66

FI (4)：

H01L 21/02 Z ,  H01L 21/66 Z ,  H01L 21/66 A ,  G06F 15/21 R