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J-GLOBAL ID：200903099123623926

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 西村 功 ,  小笠原 昭二 ,  遠藤 昌之
Applicant, Patent owner： ジェイエスアール株式会社
Agent (1)： 大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997256495
Publication number (International publication number)：1999095423
Application date： Sep. 22, 1997
Publication date： Apr. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】 アルカリ性水溶液で現像でき、平坦性、耐熱性、耐薬品性、透明性等の諸特性とともに、従来これらの特性と同時に実現することが困難であった低誘電特性の優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (A)、(a-1)ヘキサフルオロプロピレン、(a-2)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物並びに(a-3)上記(a-1)成分および(a-2)成分と共重合可能な不飽和化合物との含フッ素共重合体、(B)、1,2-キノンジアジド化合物、(C)、架橋性基を少なくとも1個含有する架橋性化合物、並びに(D)、前記(A)成分、(B)成分および(C)成分を溶解している有機溶媒からなる感放射線性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(A)、(a-1)ヘキサフルオロプロピレン、(a-2)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物並びに(a-3)上記(a-1)成分および(a-2)成分と共重合可能な不飽和化合物との含フッ素共重合体、(B)、1,2-キノンジアジド化合物、並びに(C)、架橋性化合物からなることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (7)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

FI (7)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/312 D ,  H01L 21/30 502 R