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J-GLOBAL ID：200903099125778447
走査型プローブ顕微鏡のZ変位検出機構
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995288710
Publication number (International publication number)：1997133690
Application date： Nov. 07, 1995
Publication date： May. 20, 1997
Summary：
【要約】【課題】補正手段を用いることなく、Z方向に歪みのないSPM像を得ることのできる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】静電容量センサー15は、アーム2aに固定されたアーム15aの下端部に固定されている。アーム15aは円筒型圧電体スキャナー2の内側を中心軸に沿って延びている。アーム15aは、プレート15bに固定ビス15cにより固定されている。アーム15aは固定ビス15cを緩めることで移動可能となり、これによりZ方向の位置を調整することができる。プレート15bは固定ビス17によりアーム2aに固定されており、その際、傾き調整ビス18によりアーム2aに対する傾きが調整される。アーム15aの下端の静電容量センサー15は、ヘッド3の上面に設けられたハーフミラー16に平行に配置される。ハーフミラー16はガラスに金属薄膜を蒸着により形成して作られている。
Claim (excerpt)：
プローブまたは試料の一方を保持する移動体と、移動体を微動させる円筒型圧電体スキャナーとを有する走査型プローブ顕微鏡のためのZ変位検出機構であり、円筒型圧電体スキャナーの内側に配置された、移動体のZ方向の変位を検出するための静電容量センサーと、移動体に固定された、静電容量センサーのターゲットとなる、金属膜を蒸着して形成されたハーフミラーとを有していることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡のZ変位検出機構。
IPC (2)：
FI (3)：
G01N 37/00 C
, G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
