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J-GLOBAL ID：200903099130642553

被処理体中継装置

Inventor：
飯塚 洋二

About 飯塚 洋二

, 
浅川 輝雄

About 浅川 輝雄


Applicant, Patent owner：
東京エレクトロン株式会社

About 東京エレクトロン株式会社


Agent (1)： 亀谷 美明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997260958
Publication number (International publication number)：1998135308
Application date： Sep. 08, 1997
Publication date： May. 22, 1998
Summary：
【要約】【課題】 複数枚の被処理体の移送する際にずれを伴わない被処理体中継装置を提供する。【解決手段】 本発明によれば,第1および第2中継室108a,108b内にストッパ手段であるバー126(126a,126b,126c)を,第1搬送アーム122の各載置板122c’上にウェハWを載置した状態での第1搬送アーム122の移動軌跡の外郭,および第2搬送アーム130の載置板130aにウェハWを載置した状態での第2搬送アーム130の移動軌跡の外郭に重ならない位置で,それら各移動軌跡が有角で交差するように設ける。その結果,第1搬送アーム122および第2搬送アーム130が,お互いに干渉することなくウェハWの受け渡しを正確かつ効率よく行うことができ,かつウェハWのずれあるいは落下を防止することができる。
Claim (excerpt)：
被処理体収納容器内に積層された複数枚の被処理体を同時に取り出して中継位置にまで移送する被処理体移送手段を備え,その中継位置において被処理体搬送手段に被処理体を受け渡すように構成された被処理体中継装置において,前記中継位置には,前記移送手段により同時に移送される前記複数枚の被処理体の水平方向へのずれを防止するためのストッパ手段が設けられていることを特徴とする,被処理体中継装置。
IPC (3)：
H01L 21/68 ,  B65G 1/00 535 ,  B65G 49/07
FI (3)：
H01L 21/68 A ,  B65G 1/00 535 ,  B65G 49/07 C
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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