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J-GLOBAL ID：200903099144086386
走査式描画装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
西脇 民雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991264739
Publication number (International publication number)：1993150175
Application date： Oct. 14, 1991
Publication date： Jun. 18, 1993
Summary：
【要約】【目的】 テーブルを光軸方向に移動しなくても、厚みの異なる描画対象物に対して、テレセントリックな状態を保って焦点調整を可能にする描画装置の光学系を提供する【構成】 描画用の光束を発する光源11と、光源11からの光束を偏向、走査させる偏向手段12と、偏向手段12からの光束を描画対象物に収束させるテレセントリックな走査レンズ14と、走査レンズ14を光軸方向に移動して焦点調整をする走査レンズ駆動手段15と、偏向手段12と走査レンズ14との間に設けられ、走査レンズ14の移動により焦点調整が行われるとき、走査レンズ14のテレセントリック状態を保持しながら偏向手段12からの光束の光路を変更する光路変更手段13と、偏向手段12から所定の距離に設けられ、描画対象物を支えるテーブル16とを備えている。
Claim (excerpt)：
描画用の光束を発する光源と、前記光源からの光束を偏向、走査させる偏向手段と、前記偏向手段からの光束を描画対象物に収束させるテレセントリックな走査レンズと、前記走査レンズを光軸方向に移動して焦点調整をする走査レンズ駆動手段と、前記偏向手段と前記走査レンズとの間に設けられ、前記走査レンズの移動により焦点調整が行われるとき、前記走査レンズのテレセントリック状態を保持しながら前記偏向手段からの光束の光路を変更する光路変更手段と、前記偏向手段から所定の距離に設けられ、描画対象物を支えるテーブルとを備える走査式描画装置。
IPC (4)：
G02B 26/10
, G02B 13/22
, G02B 26/10 102
, G03G 15/04 116
