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J-GLOBAL ID：200903099169675548
基板端縁洗浄装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉谷 勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992270875
Publication number (International publication number)：1994097067
Application date： Sep. 14, 1992
Publication date： Apr. 08, 1994
Summary：
【要約】【目的】 溶剤の消費量を増大させずに処理領域を拡大して洗浄効率を向上できるようにする。【構成】 表面に薄膜が形成された角型基板1を基板保持手段で載置保持し、その角型基板1の端縁の表面側に、溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する第1の溶剤吐出手段24aを設け、一方、裏面側に、溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する第2の溶剤吐出手段24bを設け、それらの第1および第2の溶剤吐出手段24a,24bそれぞれを、角型基板1の端縁に沿った複数本の溶剤供給管27で構成し、多数の吐出口27aから溶剤を吐出しながら角型基板1の端縁に沿って直線移動し、角型基板1の端縁の不要薄膜を溶剤除去する。
Claim (excerpt)：
表面に薄膜が形成された角型基板を載置保持する基板保持手段と、その基板保持手段によって保持された前記角型基板の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤吐出手段とを備えた基板端縁洗浄装置において、前記溶剤吐出手段に、前記角型基板の端縁に沿った複数の吐出口を備えさせるとともに、前記溶剤吐出手段を前記角型基板の端縁に沿って相対的に移動する移動手段を設けたことを特徴とする基板端縁洗浄装置。
IPC (3)：
H01L 21/027
, B05B 1/14
, H01L 21/304 341
