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J-GLOBAL ID：200903099211142113
サーボ送り装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
渡部 敏彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993080211
Publication number (International publication number)：1994266436
Application date： Mar. 15, 1993
Publication date： Sep. 22, 1994
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 精密サーボ送り装置において、比較的簡単な構成で、装置の剛性やサーボシステムの性能を低下させるこなく微細な誤差の補正を可能とする。【構成】 レーザ光源1、ビームスプリッタ2、反射鏡3、偏向ビームスプリッタ4、移動鏡8、参照鏡5及び第1レシーバ6により、移動鏡8が載置されたテーブル16の位置を検出するテーブル測長系が構成される。またレーザ光源1、ビームスプリッタ2、反射鏡9、偏向ビームスプリッタ4、参照鏡5、偏光参照鏡11及び第2レシーバ10により、参照鏡5の位置を検出する参照鏡測長系が構成される。サーボコントローラ14は第1レシーバ6の出力に基づいて駆動装置15を制御する。補正用制御装置18は第2レシーバ10の出力及びデータ供給装置17から供給される補正データに基づいて電歪素子7に電圧を加え、参照鏡5の位置を制御する。
Claim (excerpt)：
少なくとも一方向に移動可能なテーブルと、該テーブルを前記少なくとも一方向に駆動するテーブル駆動手段と、偏光面が互いに直交する2種類の直線偏光を出射する光源と、前記2種類の直線偏光が入射され、該2種類の直線偏光を分離してテーブル測長光及びテーブル参照光として出射する偏光ビームスプリッタと、前記テーブルに固定され、前記テーブル測長光が入射され、これを反射するテーブル測長光反射手段と、前記テーブル参照光が入射され、これを反射する参照鏡と、前記テーブル測長光反射手段及び参照鏡の反射光を干渉させ、その結果に基づいて前記テーブルの位置情報を検出するテーブル位置情報検出手段と、該テーブル位置情報に基づいて前記テーブル駆動手段を制御するサーボ制御手段とを有するサーボ送り装置において、外部からデータが入力され、該データに基づく関数データを供給するデータ供給手段と、該データ供給手段より供給された関数データに基づいて前記参照鏡を駆動し、前記テーブル参照光の光路長を変化させる参照鏡駆動手段とを設けたことを特徴とするサーボ送り装置。
IPC (2)：
G05D 3/12 305
, B23Q 15/24
