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J-GLOBAL ID：200903099223817043
真空開閉機器の真空度監視装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992032012
Publication number (International publication number)：1993062569
Application date： Feb. 19, 1992
Publication date： Mar. 12, 1993
Summary：
【要約】【目的】 真空度の変化に直接対応した変化を検出して常時真空度を確実に監視する。【構成】 発光部16と受光部17及び光ファイバ14,15を結合した光伝送路を真空開閉機器の真空バルブ1を通過させるようにし、受光部17の出力を真空度監視信号とする。
Claim (excerpt)：
真空開閉機器の真空部に光ファイバを介して発光部の入力を入射させると共に、真空部を通過した光ファイバを介して受光部で受光するよう光ファイバ結合した光伝送路を備え、上記受光部の出力を真空度監視信号としたことを特徴とする真空開閉機器の真空度監視装置。
IPC (2)：
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