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J-GLOBAL ID：200903099239059955

X線検出装置並びに電子線顕微鏡およびその応用装置

Inventor： 落合 勲 ,  神田 公生
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 高橋 明夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998185507
Publication number (International publication number)：2000019133
Application date： Jul. 01, 1998
Publication date： Jan. 21, 2000
Summary：

【要約】【課題】電子顕微鏡内の試料に近接させても非点収差や焦点ずれによる2次電子像の歪み起こさない高感度なX線検出装置並びに電子線顕微鏡を提供することにある。【解決手段】X線検出装置内の検出素子に試料からの反射電子が入射するのを除去する反射電子除去器を対なる永久磁石の組を複数で構成し、各永久磁石の組の位置が、照射電子線の光軸を含む平面に対してほぼ対称で、さらに、各永久磁石の組の磁極の向きが該平面に関して逆向きになるように構成した。

Claim (excerpt)：

電子線を試料に照射した際、試料から発生するX線を検出するX線検出部を備えたX線検出装置であって、互いに対向する対なる磁石の組を複数配置し、少なくとも所望の磁石の組での磁場によって、試料から発生して入射する反射電子を逃がして除去する反射電子除去器を前記X線検出部の先に設けたことを特徴とするX線検出装置。

IPC (5)：

G01N 23/225 ,  G01N 23/20 ,  G01T 7/00 ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/252

FI (5)：

G01N 23/225 ,  G01N 23/20 ,  G01T 7/00 A ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/252 A

F-Term (35)：

2G001AA03 ,  2G001BA05 ,  2G001BA07 ,  2G001CA01 ,  2G001DA02 ,  2G001EA03 ,  2G001EA04 ,  2G001EA20 ,  2G001FA11 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001GA10 ,  2G001GA13 ,  2G001HA13 ,  2G001JA02 ,  2G001JA03 ,  2G001JA04 ,  2G001JA13 ,  2G001JA14 ,  2G001KA01 ,  2G001PA07 ,  2G001PA11 ,  2G001SA01 ,  2G001SA02 ,  2G001SA04 ,  2G088FF02 ,  2G088FF10 ,  2G088JJ09 ,  2G088LL12 ,  2G088LL15 ,  5C033EE01 ,  5C033NN01 ,  5C033NN02 ,  5C033NN04 ,  5C033NP08