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J-GLOBAL ID：200903099265034405

環状の背骨を有する感光性ポリマ-及びこれを含むレジスト組成物

Inventor： 崔 相 俊 ,  鄭 東 垣 ,  李 始 炯
Applicant, Patent owner： 三星電子株式会社
Agent (1)： 萩原 誠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999364811
Publication number (International publication number)：2000191732
Application date： Dec. 22, 1999
Publication date： Jul. 11, 2000
Summary：

【要約】【課題】 乾式食刻に対する耐性を十分に確保できる環状の背骨を有する感光性ポリマー及びこれを含むレジスト組成物を提供すること。【解決手段】 (a) 化学増幅型レジストに用いられる次の式を有する感光性ポリマーと、【化1】式中、R1はC7〜C20の脂環式族炭化水素であり、R2及びR4は各々C1〜C7の脂肪族炭化水素であり、R3及びR5は各々水素原子またはメチル基であり、R6は水素原子または2-ヒドロキシエチル基であり、p/(p+q+r+s)=0.1〜0.5、q/(p+q+r+s)=0.1〜0.5、r/(p+q+r+s)=0.0〜0.5、s/(p+q+r+s)=0.01〜0.5、p+q+r+s=1.0である。(b) PAG(photoacid generator)とで構成される。

Claim (excerpt)：

化学増幅型レジストに用いられる次の式を有する感光性ポリマー。【化1】式中、R1はC7〜C20の脂環式族炭化水素であり、R2及びR4は各々C1〜C7の脂肪族炭化水素であり、R3及びR5は各々水素原子またはメチル基であり、R6は水素原子または2-ヒドロキシエチル基であり、p/(p+q+r+s)=0.1〜0.5、q/(p+q+r+s)=0.1〜0.5、r/(p+q+r+s)=0.0〜0.5、s/(p+q+r+s)=0.01〜0.5、p+q+r+s=1.0である。

IPC (6)：

C08F220/18 ,  C08F236/20 ,  C08K 5/36 ,  C08L 33/06 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (6)：

C08F220/18 ,  C08F236/20 ,  C08K 5/36 ,  C08L 33/06 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R