Pat

J-GLOBAL ID：200903099282274673

硬質カラー薄膜の製造法

Inventor： 村山 洋一 ,  柏木 邦宏
Applicant, Patent owner： 村山 洋一
Agent (1)： 西澤 利夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991346490
Publication number (International publication number)：1993181007
Application date： Dec. 27, 1991
Publication date： Jul. 23, 1993
Summary：

【要約】【構成】 高周波励起イオンプレーティングにより色素物質とともに透明混合物質を同時気相蒸着し、色素含有の混合硬質カラー薄膜を基体表面に形成する。また、その上下に、色素物質や透明物質、あるいは高周波励起イオンプレーティングによりITO透明導電性薄膜を形成する。【効果】 液晶カラーフィルター等として有用な、硬質で、鮮明なカラー薄膜が得られる。その耐食性、付着性も良好である。

Claim (excerpt)：

高周波励起イオンプレーティングにより色素物質とともに透明混合物質を同時気相蒸着し、色素含有の混合硬質カラー薄膜を基体表面に形成することを特徴とする硬質カラー薄膜の製造法。

IPC (3)：

G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G02F 1/1343