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J-GLOBAL ID：200903099335638753

異物検査装置

Inventor： 浜田 等史 ,  加藤 欣也
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992104378
Publication number (International publication number)：1993296937
Application date： Apr. 23, 1992
Publication date： Nov. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】異物検査に要する時間を短縮すると共に、フォトマスクに異物が付着する可能性を低減し、精度良く異物を検出できる異物検査装置を提供すること。【構成】異物検査装置は、フォトマスクの表面を照明する第1照明系と、フォトマスクの裏面を照明する第2照明系と、第1及び第2照明系の少なくとも一方により照明されるフォトマスクの表面の異物を検出する第1検出系と、第2照明系により照明されるフォトマスクの裏面の異物を検出する第2検出系とを有する。

Claim (excerpt)：

表面に所定のパターンを有するフォトマスクに付着した微小な異物を検査する異物検査装置において、前記フォトマスクの表面に向けて照明光を供給する第1照明系と、前記フォトマスクの裏面に向けて照明光を供給する第2照明系と、前記第1及び第2照明系の少なくとも一方からの照明光のもとで前記フォトマスクの表面の異物を検出する第1検出系と、前記第2照明系からの照明光のもとで前記フォトマスクの裏面の異物を検出する第2検出系とを有することを特徴とする異物検査装置。

IPC (5)：

G01N 21/88 ,  G01N 21/84 ,  G02B 21/06 ,  G03F 1/08 ,  H01L 21/66