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J-GLOBAL ID：200903099378909823

磁界型電子レンズアライメント機構

Inventor： 中村 強 ,  石田 寿則
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 菅野 中
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992293148
Publication number (International publication number)：1994151289
Application date： Oct. 30, 1992
Publication date： May. 31, 1994
Summary：

【要約】【目的】 電子ビームにおける磁界型電子レンズのアライメントを機械的に行う。【構成】 磁界型電子レンズ3の光軸に対し垂直な面内の直交する2軸方向にそれぞれ1個ずつ圧電素子1を設ける。そして、圧電素子1に電圧を印加し、圧電素子1の伸縮とバネ2の伸縮とを併用することにより、磁界型電子レンズ3を高精度に移動させ、機械的にアライメントを行う。

Claim (excerpt)：

真空容器を通過する電子ビームの軸と、真空容器を中心として周囲に配置された磁界型電子レンズの光軸との軸ズレをアライメント部により修正する磁界型電子レンズアライメント機構であって、アライメント部は、圧電素子とバネとの組からなり、真空容器の電子ビーム軸と直交する水平面内での該電子ビーム軸に対する磁界型電子レンズの光軸の軸ズレを修正するものであり、圧電素子とバネとの組は、前記水平面内に磁界型電子レンズを挾んで向き合わせに設けられ、圧電素子へ印加される電圧変化に応じて磁界型電子レンズを変位させるものであることを特徴とする磁界型電子レンズアライメント機構。

IPC (6)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  H01J 37/141 ,  H01J 37/15 ,  H01L 41/09

FI (2)：

H01L 21/30 341 H ,  H01L 41/08 U