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J-GLOBAL ID：200903099411275339

酸化銅の還元処理方法

Inventor： 澤田 康志 ,  岡崎 幸子 ,  小駒 益弘
Applicant, Patent owner： 松下電工株式会社 ,  岡崎 幸子 ,  小駒 益弘
Agent (1)： 松本 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992032490
Publication number (International publication number)：1993235541
Application date： Feb. 20, 1992
Publication date： Sep. 10, 1993
Summary：

【要約】【目的】 爆発の危険性がなく安全であって、しかも、大面積処理や連続処理に適しており、容易に実施できる実用的な酸化銅の還元処理方法を提供する。【構成】 銅層の表面を酸化処理して酸化銅を生成させた後、この酸化銅を、大気圧付近の圧力下で生起し還元性ガスが導入されているプラズマで還元するようにする酸化銅の還元処理方法。

Claim (excerpt)：

銅層の表面を酸化処理して酸化銅を生成させた後、この酸化銅を、大気圧付近の圧力下で生起し還元性ガスが導入されているプラズマで還元するようにする酸化銅の還元処理方法。

IPC (6)：

H05K 3/38 ,  C21D 1/76 ,  C22F 1/08 ,  C23C 8/36 ,  C23C 22/83 ,  H05K 3/46