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J-GLOBAL ID：200903099423309646

走査電子顕微鏡

Inventor： 伴 悦夫
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993248395
Publication number (International publication number)：1995105888
Application date： Oct. 05, 1993
Publication date： Apr. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】 試料に照射する電子ビームの電流量を試料像の観察を中断することなく正確に行うことができる走査電子顕微鏡を実現する。【構成】 試料4に照射される電子ビームEBの電流量を測定する場合、電子ビームは、大きく偏向され、試料4部分からファラデカップ11部分に照射される。すなわち、陰極線管9の走査の帰線期間、電子ビームはファラデカップ11に入射する。このカップ11の出力信号は、電流計測回路12に供給され、微小電流の計測が行われる。この電流計測回路12の出力は、電子銃やコンデンサレンズと絞りとの組み合わせなどの電流量制御手段に供給され、電子銃内の制御電極電圧を変化させたり、コンデンサレンズの励磁強度を変化させるなどして、所定の電流量が得られるように制御される。

Claim (excerpt)：

電子銃と、電子銃からの電子ビームを細く集束するためのレンズと、電子ビームを試料上で2次元的に走査するための偏向手段と、試料への電子ビームの照射によって発生した信号を検出する検出器と、検出器からの信号に基づき試料像を表示する陰極線管と、光軸から離れた位置に設けられた電子線検出器と、偏向手段による試料の電子ビームの2次元走査の帰線期間に電子ビームを偏向し、電子線検出器に入射させる手段とを備えた走査電子顕微鏡。

IPC (2)：

H01J 37/04 ,  H01J 37/28