形状計測装置及び形状計測方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：篠原泰司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001161187
Publication number (International publication number)：2002350117
Application date： May. 29, 2001
Publication date： Dec. 04, 2002
Summary：

【要約】【課題】観察物体に高段差の部分と微小な形状変化部分の両方が存在する場合でも、観察物体の凹凸の反転等を伴うことなく正確に形状を計測することができ、煩雑な操作を伴わず、簡素な装置構成で計測可能な形状計測装置及び形状計測方法を提供する。【解決手段】複数の波長を選択可能な光源装置1と、微分干渉顕微鏡と、干渉画像を形成する2つの光の相対的な位相量を変化させる位相変化装置2と、撮像装置29と、少なくとも2つの波長で観察物体の位相分布画像を形成し、形成された位相分布画像の各点の値を選択された波長間で比較する演算装置30とを有している。

Claim (excerpt)：

複数の波長を選択可能な光源装置と、微分干渉顕微鏡と、干渉画像を形成する2つの光の相対的な位相量を変化させる位相変化装置と、撮像装置と、少なくとも2つの波長で観察物体の位相分布画像を形成し、形成された位相分布画像の各点の値を選択された波長間で比較する演算装置とを有することを特徴とする形状計測装置。

IPC (3)：

G01B 11/24 , G01B 9/02 , G02B 21/00

FI (3)：

G01B 9/02 , G02B 21/00 , G01B 11/24 D

F-Term (33)：

2F064AA09 , 2F064CC04 , 2F064FF01 , 2F064GG13 , 2F064GG22 , 2F064GG33 , 2F064GG38 , 2F064GG41 , 2F064GG59 , 2F064HH01 , 2F065AA54 , 2F065BB17 , 2F065DD03 , 2F065FF50 , 2F065FF51 , 2F065GG23 , 2F065HH08 , 2F065HH18 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL20 , 2F065LL22 , 2F065LL37 , 2F065MM26 , 2F065QQ25 , 2F065QQ27 , 2H052AA05 , 2H052AC04 , 2H052AC10 , 2H052AC30 , 2H052AF03 , 2H052AF14 , 2H052AF25

Return to Previous Page