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J-GLOBAL ID：200903099436449536
形状測定方法及びそれを用いた形状測定装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995068829
Publication number (International publication number)：1996240417
Application date： Mar. 02, 1995
Publication date： Sep. 17, 1996
Summary：
【要約】【目的】 トーリック/シリンドリカル面の様な非球面形状を分割測定法によって非接触、高速で、従来よりも高精度に全面の形状を測定することのできる形状測定方法及びそれを用いた形状測定装置を得ること。【構成】 干渉計の射出光路中に、被測定面と一致する測定波面を発生する波面変換手段を設置し、移動手段に搭載した該被測定面を該波面変換手段の後ろに配置し、該移動手段によって該被測定面を互いに重なり合う部分を持つ複数の部分面に分割して、個々の部分面の形状情報を干渉測定によって一括して得、隣り合う2つの部分面の形状情報を繋ぎ合わせる際、重なり合う部分がベストフィットするように一方の部分面の形状情報を該被測定面の形状に応じた所定のセットエラー成分によって補正して繋ぎ合わせる接続処理を順次行って該被測定面全面の形状情報を得る。
Claim (excerpt)：
干渉計より射出させた球面波または平面波の光路中に、波面変換手段を設置して該球面波または平面波から移動手段に搭載した被測定面と一致する測定波面を発生させ、該移動手段によって該被測定面を互いに重なり合う部分を持つ複数の部分面に分割して、個々の部分面の形状情報を干渉測定によって一括して得、隣り合う2つの部分面の形状情報を繋ぎ合わせる際、該2つの部分面の重なり合う部分がベストフィットするように一方の部分面の形状情報を該被測定面の形状に応じた所定のセットエラー成分によって補正してつなぎ合わせる接続処理を、すべての部分面に対して行うことにより該被測定面の全面の形状情報を得ることを特徴とする形状測定方法。
IPC (2)：
FI (2)：
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