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J-GLOBAL ID：200903099541044983

固体撮像素子

Inventor： 佐藤 敏浩
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 秋田 収喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991154402
Publication number (International publication number)：1993003313
Application date： Jun. 26, 1991
Publication date： Jan. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】 電荷転送路の近傍にて発生するスミア電流の減少を図る。また、感度の向上を図る。さらに、加工された表面の平坦化を図る。【構成】 P-N接合部に電荷を蓄える受光素子と、この受光素子に蓄えられた電荷を転送する電荷転送路と、透明絶縁膜を介し前記受光素子を露呈させて形成された遮光膜とを備える固体撮像素子において、前記受光素子の形成領域は前記遮光膜側に近接するように前記電荷転送路形成領域との間に段差を設ける。

Claim (excerpt)：

P-N接合部に電荷を蓄える受光素子と、この受光素子に蓄えられた電荷を転送する電荷転送路と、透明絶縁膜を介し前記受光素子を露呈させて形成された遮光膜とを備える固体撮像素子において、前記受光素子の形成領域は前記遮光膜側に近接するように前記電荷転送路形成領域との間に段差を設けてなることを特徴とする固体撮像素子。