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J-GLOBAL ID：200903099554248383

ウェーハ位置ずれ検出装置

Inventor：
勝又 洋文

About 勝又 洋文

, 
小林 毅彦

About 小林 毅彦


Applicant, Patent owner：
東芝機械株式会社

About 東芝機械株式会社


Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999362911
Publication number (International publication number)：2001176952
Application date： Dec. 21, 1999
Publication date： Jun. 29, 2001
Summary：
【要約】【課題】 サセプタ上に置かれたウェーハが落し込み用の段差の中に収まっているか否かについて、確実に判定することができる検出装置を提供する。【解決手段】 本発明のウェーハ位置ずれ検出装置は、レーザ光をウェーハ1の表面に向けて照射する半導体レーザ素子23、ウェーハ1の表面からの反射光を検出する絞り25・集光レンズ26・フォトダイオード27、及び位置ずれの有無を判定する演算回路29などから構成される。レーザ光をウェーハ1の表面に向けて照射すると、その反射光は、絞り25を介して集光レンズ26に入り、フォトダイオード27の受光面上に収束される。演算回路29において、フォトダイオード27の出力電圧を、予め設定された基準値と比較することによって、ウェーハ1表面の傾きの有無を識別し、それ基づきウェーハ位置ずれの有無を判定する。
Claim (excerpt)：
上面にウェーハ落し込み用の段差を有するサセプタ上に置かれたウェーハの位置ずれを検出するウェーハ位置ずれ検出装置であって、ウェーハの表面にレーザ光を照射するレーザ光源と、ウェーハの表面で反射された反射光を集光する集光レンズと、この集光レンズによって集光された反射光のエネルギーを電圧信号に変換する光量検出器と、この光量検出器の出力に基づいて、ウェーハが前記段差の中にあるか否かについて判定する演算回路と、を備えたことを特徴とするウェーハ位置ずれ検出装置。
F-Term (8)：
5F031CA02 ,  5F031HA01 ,  5F031JA06 ,  5F031JA30 ,  5F031JA32 ,  5F031KA03 ,  5F031KA15 ,  5F031PA30
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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