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J-GLOBAL ID：200903099555785587
研磨終点検出装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993106566
Publication number (International publication number)：1994315850
Application date： May. 07, 1993
Publication date： Nov. 15, 1994
Summary：
【要約】【目的】 本発明は、被研磨物が研磨終点に達したことを研磨中に回転軸のトルクから間接的に検知し、これにより研磨を終了することで研磨の再現性の向上に寄与することが可能な研磨終点検出装置を提供する。【構成】 下地材料上に付着した該下地材料とは異なる付着材料を研磨除去する研磨装置において、研磨定盤を駆動する第1の回転軸および被研磨物を回転させる第2の回転軸の少なくとも一方のトルクを計測する計測機構と、前記計測機構によって計測されたトルクおよび該トルクの時間微分値の少なくとも一方が予め与えられた設定値に以上に変化したことを判定して研磨停止信号を出力する判定手段とを具備することを特徴とする。
Claim (excerpt)：
下地材料上に付着した該下地材料とは異なる付着材料を研磨除去する研磨装置において、研磨定盤を駆動する第1の回転軸および被研磨物を回転させる第2の回転軸の少なくとも一方のトルクを計測する計測機構と、前記計測機構によって計測されたトルクおよび該トルクの時間微分値の少なくとも一方が予め与えられた設定値に以上に変化したことを判定して研磨停止信号を出力する判定手段とを具備することを特徴とする研磨終点検出装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
Cited by examiner (1)
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