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J-GLOBAL ID：200903099557413679

基板保持装置

Inventor： 小川 博
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (2)： 柳田 征史 ,  佐久間 剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002194305
Publication number (International publication number)：2004037234
Application date： Jul. 03, 2002
Publication date： Feb. 05, 2004
Summary：

【課題】蒸着用の基板を保持する基板保持装置において、基板の変形をより小さく抑えてこの基板を保持する。【解決手段】蒸着用の基板10を、この基板10の厚さ方向と直交する方向から押圧手段20Aおよび押圧手段20Bにより押圧し、基板10自身の自重によりこの基板10の中央部が下方に撓んだときの撓みに比してこの撓みがより小さくなるように上記基板10を重力方向とは反対方向に撓ませてこの基板10を保持する。【選択図】 図5

Claim (excerpt)：

蒸着装置に配設して使用される、蒸着用の基板を保持する基板保持装置において、 前記基板保持装置が、前記基板を該基板の厚さ方向と直交する方向から押圧する押圧手段を備え、該押圧手段により前記基板を押圧して該基板を重力方向とは反対方向に撓ませた状態で前記基板を保持するものであることを特徴とする基板保持装置。

IPC (3)：

G21K4/00 ,  G01T1/00 ,  H01L21/68

FI (3)：

G21K4/00 L ,  G01T1/00 B ,  H01L21/68 N

F-Term (14)：

2G083AA03 ,  2G083BB01 ,  2G083CC02 ,  2G083CC04 ,  2G083CC10 ,  2G083DD01 ,  2G083DD11 ,  2G083EE07 ,  5F031CA04 ,  5F031HA09 ,  5F031HA24 ,  5F031HA44 ,  5F031MA29 ,  5F031PA30