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J-GLOBAL ID：200903099561751953
エキシマレーザ発振装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
波多野 久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992300047
Publication number (International publication number)：1994152003
Application date： Nov. 10, 1992
Publication date： May. 31, 1994
Summary：
【要約】【目的】高繰り返し運転が可能なエキシマレーザ発振装置を提供する。【構成】放電管1と、この放電管1内に供給されるレーザガスsと、このレーザガスsを放電管1内に循環させる循環手段2と、上記放電管1内における上記レーザガスsの流路中に設置される、このレーザガスsを予備電離させる予備電離電極3a、3bと、上記放電管1内における上記レーザガスの流路中に設置される、上記予備電離されたレーザガスsを励起させる一対の主放電電極4a、4bとを有し、この主放電電極4a、4b間でパルス放電を行ないレーザガスsを励起させ、パルス発振させるエキシマレーザ発振装置において、上記循環されたレーザガスsの一部が渦巻くように、上記放電管1内の対向する流路壁面に溝5を設けている。
Claim (excerpt)：
放電管と、この放電管内に供給されるレーザガスと、このレーザガスを放電管内に循環させる循環手段と、上記放電管内における上記レーザガスの流路中に設置される、このレーザガスを予備電離させる予備電離電極と、上記放電管内における上記レーザガスの流路中に設置される、上記予備電離されたレーザガスを励起させる一対の主放電電極とを有し、この主放電電極間でパルス放電を行ないレーザガスを励起させ、パルス発振させるエキシマレーザ発振装置において、上記レーザガスの一部が渦巻くように、上記放電管内の対向する流路壁面に溝を設けたことを特徴とするエキシマレーザ発振装置。
Patent cited by the Patent：
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