Pat
J-GLOBAL ID：200903099593930507
エッチング方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
田治米 登 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993027628
Publication number (International publication number)：1994224346
Application date： Jan. 23, 1993
Publication date： Aug. 12, 1994
Summary：
【要約】【目的】 複数の異なる金属層を有する被エッチング材料、特に、鉄系材料をアルミニウム系材料でサンドイッチした3層クラッド材料を、高いエッチングファクターで且つファインピッチでエッチングできるようにする。【構成】 第1の金属層1及び第2の金属層2が積層された被エッチング材料の第1の金属層上に、所望の形にパターニングしたレジスト層3を形成し、その後に第1の金属層1をエッチングし、次に、第1の金属層のエッチング面に陽極酸化膜1aを形成し、その後、第2の金属層2をエッチングする。
Claim (excerpt)：
第1の金属層及び第2の金属層が積層された被エッチング材料の第1の金属層上に、所望の形にパターニングしたレジスト層を形成し、その後に第1の金属層をエッチングし、次に、第1の金属層のエッチング面に陽極酸化により酸化膜を形成し、その後に第2の金属層を選択的にエッチングすることを特徴とするエッチング方法。
IPC (6)：
H01L 23/50
, C23F 1/18
, C23F 1/20
, C23F 1/28
, C23F 1/36
, C23F 1/44
