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J-GLOBAL ID：200903099630329754

レーザを集束するための方法および装置

Inventor： アドデルクリム タタ ,  キンビン リュー
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 山本 秀策
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000099858
Publication number (International publication number)：2000312985
Application date： Mar. 31, 2000
Publication date： Nov. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】 レーザ源および光路の変動に関わらず、被加工品に対する焦点の位置を正確に調節する。【解決手段】 レーザを被加工品に対して集束するための方法は、(a)レーザビームを発生する工程と、(b)該レーザビームを焦点に集束することにより、プラズマを形成する工程と、(c)該集束されたレーザビームによって形成される該プラズマの強度を検出する工程と、(d)該プラズマの該検出された強度に応じて、該被加工品に対する該焦点の位置を調節する工程と、を包含する。

Claim (excerpt)：

レーザを被加工品に対して集束するための方法であって、(a)レーザビームを発生する工程と、(b)該レーザビームを焦点に集束することにより、プラズマを形成する工程と、(c)該集束されたレーザビームによって形成される該プラズマの強度を検出する工程と、(d)該プラズマの該検出された強度に応じて、該被加工品に対する該焦点の位置を調節する工程と、を包含する、方法。

IPC (3)：

B23K 26/04 ,  B23K 26/00 ,  H05H 1/00

FI (4)：

B23K 26/04 C ,  B23K 26/00 P ,  B23K 26/00 M ,  H05H 1/00 A