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J-GLOBAL ID：200903099632858207

原版搬送装置

Inventor： 中村 元 ,  山津 康義
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992351488
Publication number (International publication number)：1994171799
Application date： Dec. 09, 1992
Publication date： Jun. 21, 1994
Summary：

【要約】【目的】 原版の損傷や本体装置の動作停止を防止し、作業者等の作業量および人手を介することによる異物付着の機会を減少させる。【構成】 原版2を収納する原版収納容器5から原版を取り出してその原版を使用する本体装置との原版受渡位置まで搬送する原版搬送装置において、搬送すべき原版の大きさおよび/または向きを検知する手段4を設ける。

Claim (excerpt)：

原版を収納する原版収納容器から原版を取り出してその原版を使用する本体装置との原版受渡位置まで搬送する原版搬送装置であって、搬送すべき原版の大きさを検知する原版寸法検知手段を具備することを特徴とする原版搬送装置。

IPC (7)：

B65H 7/14 ,  B65G 49/07 ,  B65H 1/00 501 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/68