半導体製造装置の制御装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石戸元
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994182106
Publication number (International publication number)：1996045853
Application date： Aug. 03, 1994
Publication date： Feb. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】多数のエラー・生産情報全ての履歴をストックし、エラー・生産情報メモリ領域を拡大し、又、システムパラメータ拡張による機能アップを計り、エラー・生産情報の履歴を手軽に交換、持運びできるメディアを使用することで、データの解析をクリーンルーム以外でも使用する。【構成】エラー発生時の情報やレシピ等による生産情報を直接、外部記憶媒体に書込み、前記エラー情報、生産情報を直接、外部記憶媒体からアクセスすることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

エラー発生時の情報やレシピ等による生産情報を直接、外部記憶媒体に書込み、前記エラー情報、生産情報を直接、外部記憶媒体からアクセスすることを特徴とする半導体製造装置の制御装置。

IPC (4)：

H01L 21/205 , H01L 21/02 , H01L 21/68 , G05B 15/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

特開昭62-130515
特開昭58-128728
特開平3-080187

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