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J-GLOBAL ID：200903099684962495

多重環構造のエーテルモノマー、ならびにこれより得られる感光性ポリマー及び化学増幅型レジスト組成物

Inventor： 金 賢 友 ,  禹 相 均 ,  李 性 昊
Applicant, Patent owner： 三星電子株式会社
Agent (1)： 八田 幹雄 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002124336
Publication number (International publication number)：2002348325
Application date： Apr. 25, 2002
Publication date： Dec. 04, 2002
Summary：

【要約】【課題】 アルケニルエーテルを基本構造とする多重環構造のモノマー、その重合生成物の感光性ポリマー、及びこれを含むレジスト組成物を提供する。【解決手段】 下記式:【化1】(式中、R4及びR5は、それぞれ独立して、水素原子またはメチル基であり、R6及びR7は、それぞれ独立して、水素原子、ヒドロキシル基、または炭素原子数1〜20の酸素原子および/またはハロゲン原子を有してもよい炭化水素基である)の構造を有するモノマーユニットを含む感光性ポリマー。

Claim (excerpt)：

下記式:【化1】式中、R1は水素原子またはメチル基であり、R2及びR3は、それぞれ独立して、水素原子、ヒドロキシル基、または炭素原子数1〜20の酸素原子および/またはハロゲン原子を有してもよい炭化水素基である、の構造を有することを特徴とするモノマー。

IPC (3)：

C08F 34/02 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (3)：

C08F 34/02 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (37)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J100AK32Q ,  4J100AK32S ,  4J100AL08R ,  4J100AR11R ,  4J100AR32P ,  4J100AR32Q ,  4J100AR32R ,  4J100BA02P ,  4J100BA02Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA15P ,  4J100BA15Q ,  4J100BA15R ,  4J100BA16P ,  4J100BB18P ,  4J100BB18Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC12R ,  4J100DA01 ,  4J100JA37 ,  4J100JA38

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開昭54-009275