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J-GLOBAL ID：200903099690858462
光偏向器および該光偏向器を用いた画像表示装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993270171
Publication number (International publication number)：1995120688
Application date： Oct. 28, 1993
Publication date： May. 12, 1995
Summary：
【要約】【目的】 小型化およびアレイ化が容易でかつ面積階調可能な光偏向器とそれを用いた画像表示装置とを提供する。【構成】 光偏向器の固定電極3とミラー部16との間に電圧が印加されていないときは、ミラー部16は固定部材15によりその一端が固定されて角度θをなす。両者間に電圧印加制御部が所望の反射光量に対応した電圧を印加することにより、ミラー部16を固定電極3側に静電吸引させ、所望の光量に対応した面積だけ、ミラー部16を前記一端側から誘電体薄膜層12上に密着させる。密着したミラー部16上には光線が入射されているので、密着させた面積に比例した光量が受光部に向けて反射方向に偏向される。この光偏向器を複数配置した画像表示装置にあっては、電圧印加制御部が各光偏向器を独立に制御し各光偏向器からの反射光量を変化させるので表示すべき画像における階調を自在に変更できる。
Claim (excerpt)：
平板状の固定電極と、該固定電極の一面を平らに覆うように形成された誘電体層と、弾性を有する薄い金属平板からなるミラー部と該ミラー部の一端部を支持する梁部とからなる機械可動部と、前記固定電極と前記ミラー部との間に電圧が加えられていないときには、前記誘電体層に覆われた前記固定電極に対し所定の空間間隙を保って対面するように前記ミラー部の前記梁部を支持する支持部と、前記ミラー部の他端を前記誘電体層上に固定するための固定部材と、前記固定電極平面に向けて斜めに光線を入射させる光源部と、受光部で所望の反射光量が必要になった場合、所望の反射光に対応した電圧を前記固定電極と前記ミラー部との間に印加し、前記ミラー部を、前記固定電極側に吸引させ、前記固定部材により前記誘電体層に固定した前記ミラー部の他端側から前記誘電体層上に密着させ、密着させた面積に比例した光量を受光部に向けて反射偏向させる電圧印加制御部と、を有することを特徴とする光偏向器。
IPC (3)：
G02B 26/08
, G02F 1/03 503
, H04N 5/238
