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J-GLOBAL ID：200903099698250641

表面検査装置、表面検査方法及び表面検査プログラムを記録した記録媒体

Inventor：
山本 貴靖

About 山本 貴靖


Applicant, Patent owner：
株式会社ニデック

About 株式会社ニデック


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999217439
Publication number (International publication number)：2001041736
Application date： Jul. 30, 1999
Publication date： Feb. 16, 2001
Summary：
【要約】【課題】 試料全面に渡って急激な形状変化、特にエッジ部分の形状変化を、容易に検査できる。【解決手段】 入力された試料全面の表面形状データに基づいて試料の半径方向の断面形状を所定角度毎に得て、検査領域の形状変化を検査領域に近接する近傍領域の表面形状データに基づいて各断面形状毎に求める解析する。
Claim (excerpt)：
試料全面の表面形状データを入力する形状データ入力手段と、入力されたデータに基づいて試料の半径方向の断面形状を所定角度毎に得る断面形状算出手段と、検査領域と該検査領域に近接する近傍領域を設定する設定手段と、設定された前記近傍領域の表面形状データに基づいて前記検査領域の形状変化を各断面形状毎に求める解析手段と、該解析結果を出力する出力手段と、を備えることを特徴とする表面検査装置。
IPC (7)：
G01B 21/30 101 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/30 101 ,  G01N 21/95 ,  G01N 21/956 ,  G11B 5/84 ,  G11B 7/26
FI (7)：
G01B 21/30 101 F ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/30 101 A ,  G01N 21/95 A ,  G01N 21/956 A ,  G11B 5/84 C ,  G11B 7/26
F-Term (63)：
2F064AA09 ,  2F064BB07 ,  2F064EE10 ,  2F064FF02 ,  2F064GG13 ,  2F064GG51 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064HH09 ,  2F064JJ01 ,  2F065AA47 ,  2F065AA49 ,  2F065CC03 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF52 ,  2F065GG05 ,  2F065HH03 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL09 ,  2F065LL46 ,  2F065LL49 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31 ,  2F065SS13 ,  2F069AA54 ,  2F069AA60 ,  2F069BB15 ,  2F069BB17 ,  2F069CC07 ,  2F069DD15 ,  2F069DD25 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG33 ,  2F069HH30 ,  2F069NN00 ,  2F069QQ07 ,  2G051AA51 ,  2G051AA71 ,  2G051AB02 ,  2G051AB07 ,  2G051BA10 ,  2G051BB09 ,  2G051BB20 ,  2G051EA12 ,  2G051FA01 ,  5D112AA02 ,  5D112AA24 ,  5D112BA03 ,  5D112BA06 ,  5D112GA02 ,  5D112GA17 ,  5D112JJ03 ,  5D121AA03 ,  5D121HH20 ,  5D121JJ05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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