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J-GLOBAL ID：200903099734513417

レーザ加工装置

Inventor： 吉野 寿生 ,  藤原 忠史
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992261542
Publication number (International publication number)：1994106378
Application date： Sep. 30, 1992
Publication date： Apr. 19, 1994
Summary：

【要約】【目的】波長吸収感度の異なった試料の適正な加工が可能で、かつ安価でコンパクトなレーザ加工装置を提供することを目的とする。【構成】レーザ加工装置は、単一波長光を射出するYAGレーザヘッド2と、YAGレーザヘッド2から射出されたレーザ光を試料16面上に結像させる結像光学系13〜15と、を備える。YAGレーザヘッド2からの単一波長光は、高調波発生器3によって複数の波長光に変換され、それぞれの波長光のどちらか一方が可変光減衰器3,5によって波長選択される。選択された波長のレーザ光は、結像光学系13〜15へ導かれる。

Claim (excerpt)：

単一波長光を射出するレーザ発振器と、このレーザ発振器から射出されたレーザ光を試料面上に結像させる結像光学系と、を有するレーザ加工装置において、前記レーザ発振器からの単一波長光を複数の波長光に変換する変換手段と、この複数の波長光を可変光減衰手段を用いて透過あるいは遮光し、波長選択する選択手段と、この選択手段によって波長選択されたレーザ光を前記結像光学系に導く光学系と、を有することを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (3)：

B23K 26/06 ,  B23K 26/00 ,  G02F 1/37