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J-GLOBAL ID:200903099737454950

抵抗体のトリミング方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 岡田 全啓
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001218982
Publication number (International publication number):2003031405
Application date: Jul. 19, 2001
Publication date: Jan. 31, 2003
Summary:
【要約】【課題】 高速かつ確実に抵抗体をトリミングすることができ、トリミング後の抵抗体の耐サージ特性が良好である、抵抗体のトリミング方法を提供する。【解決手段】 絶縁基板10上の電極12aおよび12bをまたぐ抵抗体14には、まず、第1のスリット16aが、電極12aの端部からの距離Dが0.4mmの位置で電極12aに平行に形成される。そして、抵抗体14には、第2のスリット16bが、第1のスリット16aに連続して電極12bに向けて形成される。第1のスリット16aおよび第2のスリット16bによって、略L字状のスリット16が形成される。さらに、別の略L字状のスリット18、20、22および24が略L字状のスリット16に連続して形成されることによって、電極12aおよび12b間の抵抗値が調整される。
Claim (excerpt):
絶縁基板上に設けられた一対の電極間に形成された抵抗体をレーザーでトリミングして前記一対の電極間の抵抗値を調整する抵抗体のトリミング方法であって、前記抵抗体において、前記一対の電極のうちの一方の電極から0.4mm以内の位置の一端縁から前記一対の電極に平行に第1のスリットを形成し、前記第1のスリットに連続して前記一対の電極のうちの他方の電極に向けて前記第1のスリットに対して直交状に第2のスリットを形成することによって、略L字状のスリットを形成する工程、および前記抵抗体において、前記略L字状のスリットを形成した部分から前記一対の電極に平行に前記抵抗体の他端縁に向かってずらした部分に、前記略L字状のスリットに連続して少なくとも1つの別の略L字状のスリットを形成する工程を含む、抵抗体のトリミング方法。
IPC (3):
H01C 17/242 ,  H01L 21/822 ,  H01L 27/04
FI (2):
H01C 17/24 L ,  H01L 27/04 V
F-Term (14):
5E032BA04 ,  5E032BB01 ,  5E032CA01 ,  5E032TA11 ,  5E032TA13 ,  5E032TA14 ,  5E032TB02 ,  5E032TC01 ,  5F038AR07 ,  5F038AR12 ,  5F038AR16 ,  5F038AV02 ,  5F038AV10 ,  5F038EZ20

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