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J-GLOBAL ID:200903099741794774

導電性ボールの接合方法及び導電性ボールの接合装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 滝本 智之 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996062350
Publication number (International publication number):1997260417
Application date: Mar. 19, 1996
Publication date: Oct. 03, 1997
Summary:
【要約】【課題】 高速に導電性ボールを移載できる導電性ボールの接合方法を提供することを目的とする。【解決手段】 ツール13をボール6へ下降させて、ボールの上部にツールの下部を食い込ませてこのツール13の下部にボール6を保持し、次にツール13を回路パターン2へ下降させてボールが食い込みによってツール13に保持される力よりも大きな接合力でこのツール13の下部に保持されたボールを回路パターンに接合させ、次にツール13を回路パターン2から離反する方向へ移動させて回路パターン2に接合されたボール6から分離する。
Claim (excerpt):
ボール供給部からツールでボールをピックアップし、ピックアップしたボールを回路パターン上へ接合する導電性ボールの接合方法であって、ツールをボール供給部のボールへ下降させてボールの上部に前記ツールの下部を食い込ませてこのツールの下部にボールを保持し、次に前記ツールを回路パターンへ下降させてボールが食い込みによってツールに保持される力よりも大きな接合力でこのツールの下部に保持されたボールを回路パターンに接合させ、次に前記ツールを前記回路パターンから離反する方向へ移動させて回路パターンに接合されたボールからこのツールを分離することを特徴とする導電性ボールの接合方法。
IPC (2):
H01L 21/60 301 ,  H01L 21/321
FI (3):
H01L 21/60 301 H ,  H01L 21/92 604 H ,  H01L 21/92 604 Z

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