有機反射防止膜用重合体及びその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：吉田研二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000401089
Publication number (International publication number)：2001226324
Application date： Dec. 28, 2000
Publication date： Aug. 21, 2001
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 193nmArF及び248nmKrF光を用いる超微細パターン形成工程において、下部膜層の反射を防止でき、定在波を除去し得る有機乱反射防止重合体及びその合成方法を提供する。【解決手段】反射防止膜に使用される化合物自体が193nm及び248nmの波長の光を吸収できるように吸光度の高い発色団を含有させ、また、有機反射防止膜の成形性、気密性、溶解性の付与のため、コーティング後のハードベイク時に、樹脂内のアルコール基と感能基間で架橋反応が起こるメカニズムを導入した。このため、本発明の反射防止膜樹脂は、ハイドロカーボン系の全ての溶媒に対して溶解性が優秀であり、かつハードベイク後にはどんな溶媒にも溶解されない耐溶解性を有する。尚、重合用モノマーは下記構造式の9-アントラシルアクリラートである。

Claim (excerpt)：

下記構造を有する9-アントラシルアクリラート。【化1】

IPC (8)：

C07C 69/54 , C07C 67/14 , C08F 2/44 , C08F116/38 , C08F220/30 , G03F 7/004 506 , G03F 7/11 503 , H01L 21/027

FI (8)：

C07C 69/54 B , C07C 67/14 , C08F 2/44 B , C08F116/38 , C08F220/30 , G03F 7/004 506 , G03F 7/11 503 , H01L 21/30 574

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

フォトレジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-281868 Applicant：シップレーカンパニーエルエルシー
反射防止コーティング組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-188850 Applicant：シップレーカンパニーエルエルシー
ハレーション止め組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-328816 Applicant：シツプリイ・カンパニイ・インコーポレイテツド

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