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J-GLOBAL ID:200903099803699781

共焦点走査型光学顕微鏡

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴江 武彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995289944
Publication number (International publication number):1997133869
Application date: Nov. 08, 1995
Publication date: May. 20, 1997
Summary:
【要約】【課題】容易かつ瞬時に共焦点画像と、非共焦点画像とを選択することが可能で、安価かつ小型となる共焦点走査型光学顕微鏡を得る。【解決手段】レーザ光源1からの光を試料11上に集光する対物レンズ10、1と10の間に配置されていて10に入る光の入射角度を変化させることにより11上をそれぞれ直交する方向に走査するガルバノメータミラー4,7、11からの光を絞るピンホール17を通過した光を検出して共焦点画像信号を出力する検出器18、4,7と17の間に配置され、11からの光を所定の割合に分割するビームスプリッター3,13、3,13により分割された光を検出して非共焦点画像信号を出力する検出器20、18,20によりそれぞれ検出された画像信号を表示するモニタ36、36に入力される18,20からの画像信号を電気的に切換える切換器35を具備したもの。
Claim (excerpt):
光源と、前記光源から発した光を試料上に集光する対物レンズと、前記光源と前記対物レンズの間に配置されていて前記対物レンズに入る光の入射角度を変化させることにより試料上をそれぞれ直交する方向に走査する光偏向部材と、前記試料からの光を共焦点絞りを通過させて検出して共焦点画像信号を出力する第1の検出器と、前記試料からの光を検出して非共焦点画像信号を出力する第2の検出器と、前記第1および第2の検出器によりそれぞれ検出された画像信号を表示するモニタと、前記モニタに入力される前記第1および第2の検出器からの画像信号を電気的に切換える切換器と、を具備した共焦点走査型光学顕微鏡。
IPC (2):
G02B 21/00 ,  G02B 21/06
FI (2):
G02B 21/00 ,  G02B 21/06
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
  • 走査型光学顕微鏡
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平5-177595   Applicant:株式会社ニコン
Cited by examiner (1)
  • 走査型光学顕微鏡
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平5-177595   Applicant:株式会社ニコン

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