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J-GLOBAL ID：200903099819494411

光導波膜の製造方法

Inventor： 首藤 啓三 ,  北川 毅 ,  服部 邦典
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 光石 俊郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992340075
Publication number (International publication number)：1994183751
Application date： Dec. 21, 1992
Publication date： Jul. 05, 1994
Summary：

【要約】【目的】 Er添加多成分ガラス光導波路での製法上の制約の問題及び導波路の光学的な散乱損失と信号光利得の問題を解決し、製造が比較的容易で、且つ、光学的にも光品質な特性を有するErに代表される希土類添加光導波路に利用することのできる光導波膜の製造方法を提供する。【構成】 エルビウム(Er)などの希土類を添加した石英系ガラス膜において、この希土類を添加する原料として希土類の有機化合物を用い、プラズマCVD法あるいは、減圧CVD法により成膜する。

Claim (excerpt)：

希土類を添加した石英系ガラス膜において、前記希土類を添加する原料として希土類の有機化合物を用い、プラズマCVD法により成膜することを特徴とする光導波膜の製造方法。

IPC (3)：

C03B 8/04 ,  C03B 20/00 ,  G02B 6/12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-220506
  
• 特開平4-073717
  
• 特開平4-300218
  
• 特開平2-275724