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J-GLOBAL ID：200903099845090884

外観検査装置およびその画像処理方法

Inventor： 武安 清雄 ,  北村 覚
Applicant, Patent owner： 日立電子株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998021641
Publication number (International publication number)：1999218499
Application date： Feb. 03, 1998
Publication date： Aug. 10, 1999
Summary：

【要約】【目的】 本発明は寸法が100μm角前後、場合によっては数十μm角程度の微細な物体、たとえば高密度プリント基板に実装されたマイクロはんだポイントやシリコンウエハ上に実装されたバンプ素子などの微細物体を対象とした、外観状態良否判別方式の改善を目的とする。【構成】 前記の目的を達成するため、本発明では対象物映像の入力手段として、たとえば多段式照明(以下段差照明と呼称)とテレビカメラなどイメージセンサを用いる事を一つの前提として、以下のようなパターン判定を実行する。1)ウインドウサイズの基準化2)上記を前提とした個別画素判定方式3)またウインドウ内にさらに設定された特定領域内の画素判定方式

Claim (excerpt)：

対象物体の外観上の良否を判別する装置において、検査対象に対する投射角度が相違する複数の照明装置と、該各照明装置により照射される光により1つの検査対象に対して得られる複数の対象映像を電気信号に変換するイメージセンサと、該イメージセンサより得られた各投射角度が相違する複数の照明装置からの照明により得た複数の画像によりパターン認識を行うようにしたことを特徴とする外観検査装置

IPC (5)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/24 ,  G06T 7/00 ,  H04N 7/18

FI (5)：

G01N 21/88 J ,  G01B 11/00 H ,  G01B 11/24 C ,  H04N 7/18 B ,  G06F 15/62 405 A