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J-GLOBAL ID：200903099864207628
基板移載機構並びに基板移載装置並びに半導体製造装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松隈 秀盛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994134513
Publication number (International publication number)：1996008319
Application date： Jun. 16, 1994
Publication date： Jan. 12, 1996
Summary：
【要約】【目的】 基板移載機構において静電気による基板の移載ミス、パーテイクルの発生等を防止する。【構成】 基板移載機構内の基板2、基板保管具3、移載用基板支持具5、基板保管具置場11等の1部又は全部に対し、帯電防止ないし除電機構6を備える。
Claim (excerpt)：
少なくとも基板を収納する基板保管具と、前記基板を移載するための移載用基板支持具を備えた基板移載機構において、基板、基板保管具、基板移載用支持具、基板保管具置場等の1部もしくは全部に対し、帯電防止ないし除電機構を備えて成ることを特徴とする基板移載機構。
IPC (2)：
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