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J-GLOBAL ID：200903099865222027

薄膜の評価方法

Inventor： 花房 彰 ,  山本 輝明
Applicant, Patent owner： 松下電池工業株式会社
Agent (1)： 石井 和郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999237549
Publication number (International publication number)：2001059816
Application date： Aug. 24, 1999
Publication date： Mar. 06, 2001
Summary：

【要約】【課題】 一定品質の透明導電薄膜またはCdS薄膜を生産性よく製造することを可能にする評価方法を提供する。【解決手段】 透明導電薄膜を形成した透光性基板の一方の表面に発光部から赤外光を入射し、前記基板を透過した赤外光を検出して透過率を求め、その透過率から前記薄膜の膜厚またはシート抵抗を求める透明導電薄膜の評価方法および透明導電薄膜を形成し、さらにその上に硫化カドミウム薄膜を形成した透光性基板の一方の表面に波長400〜520nmの光を入射し、前記基板を透過した光を検出して透過率を求め、その透過率から前記硫化カドミウム薄膜の膜厚を求める硫化カドミウム薄膜の評価方法。

Claim (excerpt)：

透明導電薄膜を形成した透光性基板の一方の表面に発光部から赤外光を入射し、前記基板を透過した赤外光を検出して透過率を求め、その透過率から前記薄膜の膜厚またはシート抵抗を求めることを特徴とする透明導電薄膜の評価方法。

IPC (4)：

G01N 21/35 ,  G01B 11/06 ,  H01L 31/04 ,  H01M 14/00

FI (4)：

G01N 21/35 Z ,  G01B 11/06 Z ,  H01M 14/00 P ,  H01L 31/04 M

F-Term (35)：

2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065BB22 ,  2F065CC31 ,  2F065DD06 ,  2F065FF46 ,  2F065GG06 ,  2F065GG22 ,  2F065HH13 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL04 ,  2F065MM02 ,  2G059AA03 ,  2G059BB10 ,  2G059CC20 ,  2G059EE01 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059KK01 ,  5F051AA09 ,  5F051BA14 ,  5F051FA02 ,  5F051GA03 ,  5H032AA06 ,  5H032BB09 ,  5H032EE01 ,  5H032EE07 ,  5H032EE18 ,  5H032HH07 ,  5H032HH08