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J-GLOBAL ID：200903099877898069

感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法

Inventor： 森下 ▲元▼ ,  鈴木 哲雄 ,  林 伸明 ,  伊藤 雅人 ,  右高 園子 ,  野々垣 三郎 ,  西澤 昌紘
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992017450
Publication number (International publication number)：1993216219
Application date： Feb. 03, 1992
Publication date： Aug. 27, 1993
Summary：

【要約】【構成】水溶性非感光性モノマ単位としてマレイン酸を、アジド基及び電解性官能基を有するモノマ単位として、ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンスルホン酸,ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンカルボン酸,ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンスルホン酸,ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンカルボン酸及びこれらの塩から選ばれた少なくとも一種のモノマ単位を含む感光性高分子を光架橋剤とし、ベースポリマとして、4-アジドベンズアルデヒド-2-スルホン酸とポリビニルアルコールとのアセタール反応によって得られる水溶性変性ポリビニルアルコールのアルカリ塩を用いる。【化1】【効果】高感度を有しており、大型カラーブラウン管の製造等に用いて短時間での露光が可能となる。

Claim (excerpt)：

水溶性非感光性モノマ単位としてマレイン酸を、アジド基及び電解性官能基を有するモノマ単位として、ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンスルホン酸,ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンカルボン酸,ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンスルホン酸,ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンカルボン酸及びこれらの塩から選ばれた少なくとも一種のモノマ単位とを少なくとも含む感光性高分子を光架橋剤とし、これとベースポリマとして、4-アジドベンズアルデヒド-2-スルホン酸とポリビニルアルコールとのアセタール反応によって得られる水溶性変性ポリビニルアルコールのアルカリ塩からなることを特徴とする感光性組成物。

IPC (4)：

G03F 7/012 501 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/26 ,  G03F 7/28