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J-GLOBAL ID：200903099891598477

検出光学系並びに立体形状検出方法

Inventor： 原 靖彦 ,  土井 秀明 ,  見坊 行雄 ,  飯田 正
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992134668
Publication number (International publication number)：1993332733
Application date： May. 27, 1992
Publication date： Dec. 14, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】種々の反射条件を有する物体の立体形状を安定、高速に検出する。【構成】照明用偏光レーザ光2はレンズ8およびシリンドリカルレンズ15により照明用スリット16上に線状に絞られる。17は光束の方向を整えるフィールドレンズである。照明用スリット16から出た光は半透明鏡14′を経て対物レンズ5により物体上に線状に結像する。物体からの反射光は、対物レンズ5によりリニアセンサ4上に像を結ぶ。リニアセンサ4の前には偏光板11を置き散乱光のみ通過させる。リニアセンサ4は大きさ10〜20μmの小さな光検出器が一列に並んだものでこれ自体でスリットのような効果があり、物体上の線状照明とリニアセンサは共焦点系を形成する。蓄積型のリニアセンサの使用により検出感度が良くなり、またリニアセンサを使うので機械走査を2軸に減らすことができ検出系の簡素化にも効果が大きい。

Claim (excerpt)：

偏光レーザ光を光学系により線状の照明光像に絞り込み、この照明光像の当該光学系による共焦点位置に線状の光検知機能を有する検出器を置き、物体情報を検出することを特徴とする検出光学系。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平4-142410
  
• 特開昭60-220940
  
• 特開昭61-075206
  
• 特開平4-115109
  
• 特開昭57-052807