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J-GLOBAL ID：200903099904482716

カンチレバー型変位素子ユニット、及びそれを用いたカンチレバー型プローブユニット、及びそれを用いた情報処理装置

Inventor： 川崎 岳彦 ,  赤池 正剛 ,  鈴木 義勇 ,  山本 敬介 ,  河田 春紀
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 豊田 善雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992287122
Publication number (International publication number)：1994120581
Application date： Oct. 02, 1992
Publication date： Apr. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 走査型トンネル顕微鏡の原理を応用し、カンチレバー型プローブを用いて記録媒体に記録再生を行う情報処理装置を提供する。【構成】 圧電体膜と電極とを積層してなるカンチレバー型変位素子8の自由端部に、マイクロティップ7を設けたカンチレバー型プローブと、記録媒体31とを、Si基板33とパイレックスガラス35との接合面内に部分的に非接着部分37を有するように光照射陽極接合した構造体の中に封止した構成を持つ情報処理装置。【効果】 気密性、耐久性に優れ、塩素発生の無い封止構造を持つことにより、耐環境性に優れた安定した装置となる。

Claim (excerpt)：

圧電体膜と、該圧電体膜を逆圧電効果により変位させるための電極とを積層してなるカンチレバー型変位素子を、Si基板とガラス基板とを陽極接合した構造体の中に封止した構成を持つことを特徴とするカンチレバー型変位素子ユニット。

IPC (4)：

H01L 41/09 ,  G01B 21/30 ,  G11B 9/00 ,  H01J 37/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特表平3-503463
  
• 特開平4-164841
  
• 特開平1-253627