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J-GLOBAL ID：200903099973423683
レジスト組成物
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
久保山 隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993300001
Publication number (International publication number)：1995152154
Application date： Nov. 30, 1993
Publication date： Jun. 16, 1995
Summary：
【要約】【目的】 色濃度、分光特性、解像度及び耐熱性等の諸性能に優れたレジスト組成物を提供する。【構成】 アルカリ可溶性樹脂、溶剤及び一般式(I)【化1】〔式中、A及びBは水素原子又はアルキルもしくはアリール基を、Rはアルキル、シクロアルキル、アルコキシ、アルコキシアルキルもしくはアリール基等を、Mは水素原子等を、m及びnはそれぞれ0〜2及び1〜3を、各々表す。〕で示される色素を含有するレジスト組成物。
Claim (excerpt)：
アルカリ可溶性樹脂、溶剤及び一般式(I)【化1】〔式中、A及びBは各々独立して水素原子又は置換されていてもよいアルキルもしくはアリール基を表わすが、A及びBが同時に水素原子であることはない。Rは置換されていてもよいアルキル、シクロアルキル、アルキルカルボニルアミノアルキル、シクロヘキシルアルキル、アルコキシ、アルコキシアルキル、アリールもしくはアルキルカルボニルオキシ基を、Mは水素原子又は4級アンモニウム塩を、それぞれ表わす。n及びmは各々-SO2 NH-R及び-SO3 Mの置換数を表わすが、これらの置換基はA及びBの一方又は双方のアリール基の置換基であってもよく、或いはアントラキノン核の置換基であってもよい。m及びnは各々0〜2及び1〜3の整数を表わすが、m+n≦3を満足するものとする。〕で示される色素を含有することを特徴とするレジスト組成物。
IPC (8)：
G03F 7/039
, C09B 1/26
, C09B 1/32
, G02B 5/20
, G03F 7/004 503
, G03F 7/022
, G03F 7/029
, G03F 7/038
Cited by examiner (7)
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