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J-GLOBAL ID:200903099973709978

外観検査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 山野 宏
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006205096
Publication number (International publication number):2008032487
Application date: Jul. 27, 2006
Publication date: Feb. 14, 2008
Summary:
【課題】被検査体の表面が多数の面で形成されている場合、各面の表面形状に関係なく、各面に発生した欠陥、特に、面と面とで形成される角部に発生した欠陥を正確に検出できる外観検査装置を提供する。【解決手段】複数の面で表面が形成された被検査体(歯車2)に、光を照射する照明手段4と、被検査体2の表面のうち平面ではない面の一部が表面形状に沿った輪郭として現れて撮像される位置で、被検査体2を撮像する撮像手段51,52と、撮像手段51,52で撮像した撮像画像を画像処理して、被検査体2の平面ではない面での欠陥を検出する画像処理手段7と、照明手段4の発光部の近くに配置し、特定の振動方向の光波を通過させる第一偏光フィルタ61と、撮像手段51,52の受光部の近くに配置し、第一偏光フィルタ61と振動方向が同方向の光波を通過させる第二偏光フィルタ62とを備える。【選択図】図1
Claim (excerpt):
複数の面で表面が形成された被検査体に、光を照射する照明手段と、 被検査体の表面のうち平面ではない面の一部が表面形状に沿った輪郭として現れて撮像される位置で、被検査体を撮像する撮像手段と、 撮像手段で撮像した撮像画像を画像処理して、被検査体の前記平面ではない面での欠陥を検出する画像処理手段と、 照明手段の発光部の近くに配置し、特定の振動方向の光波を通過させる第一偏光フィルタと、 撮像手段の受光部の近くに配置し、第一偏光フィルタと振動方向が同方向の光波を通過させる第二偏光フィルタとを備えることを特徴とする外観検査装置。
IPC (1):
G01N 21/88
FI (1):
G01N21/88 Z
F-Term (12):
2G051AA07 ,  2G051AB02 ,  2G051BA11 ,  2G051BB03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB02 ,  2G051CC07 ,  2G051CD07 ,  2G051EA08 ,  2G051EB01 ,  2G051ED08
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
  • 歯車等の異状診断方法
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平3-324685   Applicant:石川島播磨重工業株式会社

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