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J-GLOBAL ID:200904004688777075  Research Project code:9800047906 Update date:May. 12, 2009

純オゾンを用いたシリコン酸化物皮膜の層成長制御とその評価法の開発

純オゾンを用いたシリコン酸化物皮膜の層成長制御とその評価法の開発
Study period:1996 - 1996
Organization (1):
Investigating Researcher (4):
Organization with control over the research:
国立研究開発法人産業技術総合研究所
Research budget: 1996: \6,650,000

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