Proj
J-GLOBAL ID:200904007760538993  Research Project code:2796 Update date:Oct. 07, 2013

AFM探針形状評価技術の開発

Study period:2005 - 継続中
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
原子間力顕微鏡(AFM)においては探針の先端形状のわずかな違いが測定結果(観察画像)に大きな影響を与えます。本開発では、先端形状評価用標準試料と評価技術の確立をめざします。化合物半導体成膜技術を応用して、5~100nmの凸凹周期構造と1nmレベルの孤立構造を持つ標準試料を開発し、探針形状の精密測定を可能にします。さらに標準試料による形状補正アルゴリズムを開発して、AFMにおけるナノ測定の定量化、標準化に貢献します。
Research program: 先端計測分析技術・機器開発プログラム
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Research budget: \0
Parent Research Project (1):

Return to Previous Page