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J-GLOBAL ID:200904008118264517  Research Project code:0550032393 Update date:Dec. 17, 2013

タンパク質コアを利用したナノエッチング技術開発

タンパク質コアを利用したナノエッチング技術開発
Study period:2003 - 2009
Keywords (3):
半導体デバイス ,  プラズマエッチング ,  バイオナノプロセス
Project Organization (1):
  • (株)松下電器産業・先端技術研究所
Researcher representative of the project  (1):
  • 山下 一郎

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