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J-GLOBAL ID:200904014894451017  Research Project code:1855 Update date:Oct. 07, 2013

LSI用3次元カーボン・アクティブ配線の開発

Study period:2007 - 2012
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
配線抵抗の増大、大電流密度による信頼性劣化を抑えるためにグラフェンを用いた微細配線技術、およびグローバル配線に求められるリピータ機能等を持つアクティブ配線技術の開発を行います。
Research program: 戦略的創造研究推進事業(チーム型研究)
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Research budget: \0
Parent Research Project (1):

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