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J-GLOBAL ID:200904017375505486  Research Project code:1852 Update date:Oct. 07, 2013

真空紫外レーザー光発生用非線形光学結晶の開発

Study period:2007 - 2012
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
極微小欠陥検査用光源の短波長化及び長寿命化のために、波長170nm台の真空紫外光発生用光学結晶の育成技術、および紫外レーザー損傷メカニズムの解明を通して長寿命化技術の開発を行います。
Research program: 戦略的創造研究推進事業(チーム型研究)
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Research budget: \0
Parent Research Project (1):

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