Proj
J-GLOBAL ID:200904017375505486
Research Project code:1852
Update date:Oct. 07, 2013
真空紫外レーザー光発生用非線形光学結晶の開発
Study period:2007 - 2012
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
極微小欠陥検査用光源の短波長化及び長寿命化のために、波長170nm台の真空紫外光発生用光学結晶の育成技術、および紫外レーザー損傷メカニズムの解明を通して長寿命化技術の開発を行います。
Research program:
戦略的創造研究推進事業(チーム型研究)
Ministry with control over the research :
Organization with control over the research:
Research budget:
\0
Parent Research Project (1):
Return to Previous Page