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J-GLOBAL ID：200904017375505486
Research Project code：1852
Update date：Oct. 07, 2013
真空紫外レーザー光発生用非線形光学結晶の開発
Study period：2007 - 2012
Organization (1)：
Investigating Researcher (1)：
Research overview：
極微小欠陥検査用光源の短波長化及び長寿命化のために、波長170nm台の真空紫外光発生用光学結晶の育成技術、および紫外レーザー損傷メカニズムの解明を通して長寿命化技術の開発を行います。
Research program：
戦略的創造研究推進事業(チーム型研究)
Ministry with control over the research ：
Organization with control over the research：
Research budget：
\0
Parent Research Project (1)：
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